表 蓝宝石CZ法KY法VHGF法工艺比较一览
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NO. |
项目 |
Cz法 |
Ky法 |
VHGF法 |
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1 |
加热型式 |
电磁感应式 |
电阻式 |
电阻式 |
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2 |
使用坩埚材料 |
铱坩埚 |
钨坩埚 |
钨坩埚 |
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3 |
使用热场型式 |
氧化锆或石墨碳纤材 |
钨钼材料 |
石墨碳纤材 |
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4 |
目前使用最多区域 |
日,韩,台 |
俄罗斯 |
韩(STC1家) |
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5 |
可制造最大晶体 |
6吋晶棒(A或C轴) |
90KG晶柱(A或C轴) |
6吋方型晶体 |
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6 |
设备稳定性 |
优 |
极差 |
N/A |
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7 |
晶棒良率 |
高 |
低 |
N/A |
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8 |
自动化程度 |
高 |
低 |
N/A |
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9 |
人员需求 |
少(3~5台/人) |
多(1~2台/人) |
N/A |
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10 |
市场使用 |
多 |
多 |
少 |
来源：51报告在线行业研究中心整理
表 蓝宝石CZ法KY法成本比较一览
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NO. |
项目 |
单位 |
Cz爐 |
一般传统Ky爐 |
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1 |
charge |
sizekg/run |
30 |
30 |
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2 |
坩埚 |
|
铱坩埚(劣)※注 |
钨坩埚 |
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2 |
可取晶棒直径 |
吋 |
2"~8"(优) |
2"~4" |
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3 |
生产时间 |
天/run |
6(优) |
14 |
|
4 |
2"产能 |
mm/月 |
3000~3200(优) |
2000~2500 |
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5 |
单位生产成本 |
USD/mm |
4.5~6(优) |
6~8 |
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6 |
调机时间 |
月 |
1.5~2.5(优) |
5~6 |
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7 |
单位使用功率 |
KW/hr |
35~45(优) |
60~70 |
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8 |
耗电量 |
KWH/run |
4500~6500(优) |
18000~25000 |
※ 铱为贵金属铱坩埚后续可回收故不属耗材，长期使用比钨坩埚(耗材)合算。
来源：51报告在线行业研究中心整理
表 蓝宝石HEM法KY法 CZ法EFG法特征一览
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特征 |
HEM法 |
KY法 |
CZ法 |
EFG法 |
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晶锭外形规则，更高的产品良率 |
YES |
|
YES |
YES |
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固定方式长晶，高品质的材料生长 |
YES |
YES |
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自上而下长晶，气泡易排出 |
YES |
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稳定的温梯，最小的对流 |
YES |
|
YES |
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